信頼性の高い試験

走査電子顕微鏡 （SEM）

試料の表面に電子線を絞った電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子などを検出することで対象を観察する。試料の表面を画像形象化させる装備となり、試料の表面の形状と粒子のサイズ測定が可能になる。

• 100倍 〜 最大100,000倍まで測定可能
• サンプルの最大幅60mm、高さ45mmまで測定可能

エネルギー分散型の分光器 （EDS）

試料製品の元素と定量分析ができる装備であり、元素番号5番B（Boron）から98番Cf（Californium）まで 分析可能

• 多層薄膜のメッキ厚測定（最大5層）
• RoHS、WEEE、ELV対応のための有害物質（Cr、Br、Cd、Hg、Pb、Cl、Sb、Sn、Sなど ）の含有量分析
• 測定範囲 ：Ti（22）〜U（92）
• 試料の形態 ：solid / liquid / powder

※ 測定原理

X-ray管から出てきた1 次のX-ray が試料にぶつかると、X-rayが原子に吸収されたり、物質を通過して散乱されたりする 。この過程で電子が内側から突き出してスペースを作り出し、不安定な状態になれる 。この時、原子は安定な状態になるように外殻にいた電子が内殻に転移され、この過程で各元素毎に固有なエネルギーのX-ray線を放出する。この X-rayを蛍光X-rayと呼ぶ。この蛍光 X-rayのエネルギーと強さを測定して成分と含有量、厚さを測定する 。