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耐食性/耐化学性 RF/EMI 遮蔽スパイラルガスケット

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概要

耐化学性/耐食性スパイラルガスケットは極限の化学的·機械的環境でも安定的な性能を発揮する高性能遮蔽用ガスケットとなります。特に半導体エッチング装備、化学処理装備のように腐食性化学ガスと高温(最大450 °C)条件が同時に要求される産業環境に最適化されています。


本製品は世界的に認められている高級合金で製作されています。

  • Ni-Mo Alloy (C-276 / 一名、ハステロイ/インコネル合金)
    代表的なニッケル基の耐食性合金であり、腐食穴(pitting)、隙間腐食(crevice corrosion)、応力腐食割れ(SCC)に対する優れた抵抗性を誇ります。フッ化水素酸ガス、塩水など高腐食環境でも安定性が維持され、高い強度と耐熱性を基盤に半導体装備、化学プラント、高温・腐食環境で最適なソリューションを提供します。
  • Co-Cr Alloy (R30003 / 一名、エルジロイ合金)
    非磁性コバルト基の超合金であり、優れた疲労強度と耐腐食性を同時に確保しました。有機・無機酸環境のいずれにおいてもステンレスよりも優れた耐食性を発揮し、水素脆性(hydrogen embrittlement)に対して鈍感です。また、–269°Cの極低温から約500°Cの高温まで安定的に耐えられるため、極低温環境装備と高温半導体工程に適しています。

このように、両素材はそれぞれ特長を基に、様々な産業用耐食性ガスケットの要求条件に応じて最適の製品を選択することが出来ます。

主な特徴

  • 強力な耐食性
    フッ化水素酸ガス、塩水、各種酸・アルカリなど腐食性化学環境にも優れた性能維持
  • 優秀な機械的な強度
    高い引張強度・降伏強度で高荷重・反復荷重環境にも変形と疲労破壊抑制
  • 広い温度範囲対応
    極低温(–269°C)から高温(500°C)まで安定的な耐食性と機械的な特性維持
  • 電磁波遮蔽及び電気的な安定性
    低い電気抵抗でEMI遮蔽と信号干渉の最小化
  • 耐久性と信頼性保障
    酸化、ピッティング(pitting)、クリップ(creep)、応力腐食割れ(SCC)など過酷な環境にも長期間安定的に使用可能

製品詳細


形態

    耐食性/耐化学性 RF/EMI 遮蔽スパイラルガスケット


  • 素材: Ni-Mo Alloy (C-276、ハステロイ/インコネル合金)、Co-Cr Alloy (R300003、エルジロイ合金) 選択可能
  • 外径(OD): 0.1mm単位で製作可能(下の製品リストの数字が製品の外径となる)
      例) 010 = 1.0mm, 023 = 2.3mm, 099 = 9.9mm

製品タイプ

ストリップ材質、反力、直径など、下記オプションを組み合わせて選択できます。


ストリップ材質 ばね特性（反力） 直径 芯材 形状
Ni-Mo Alloy (Hastelloy)
Co-Cr Alloy (Elgiloy)
* All materials are RoHS compliant.		 Standard (S)
Moderate (P)
Low (F)		 1.0mm
to
10.0mm
（0.1 mm単位で製作）		 No Cord (W) String
O-Ring

* 上記は基本的な組合せ条件です。Oリング寸法やばね特性別の対応直径など、製造上の制約が適用される場合があります。


* 25%圧縮時の製品別圧縮反力
   - S: Standard(標準反力) ~13 kgf/in
   - P: Medium(中反力) ~5 kgf/in
   - F: Low(低反力) ~2 kgf/in


* ストリップ材の化学組成

ストリップ 単位 化学組成
Ni-Mo Alloy (C-276) wt% Ni Bal. / Mo 15.0-17.0 / Cr 14.5-16.5 / Fe 4.0-7.0
Co-Cr Alloy (R30003) wt% Co 39.0-41.0 / Cr 19.0-21.0 / Ni 15.0-16.0 / Fe Bal.


グルーブマウント

スパイラルガスケット溝マウント

  • 推奨グローブサイズ
外径[mm] 推奨グローブサイズ[mm]
Depth WB WT
1.0 0.75 1.35 0.96
2.0 1.50 2.70 1.92
2.2 1.65 2.97 2.11
2.4 1.80 3.24 2.30
2.6 1.95 3.51 2.50
2.8 2.10 3.78 2.69
3.0 2.25 4.05 2.88
3.2 2.40 4.32 3.07
3.4 2.55 4.59 3.26
3.6 2.70 4.86 3.46
3.8 2.85 5.13 3.65
外径[mm] 推奨グローブサイズ[mm]
Depth WB WT
4.0 3.00 5.40 3.84
4.2 3.15 5.67 4.03
4.4 3.30 5.94 4.22
4.6 3.45 6.21 4.42
4.8 3.60 6.48 4.61
5.0 3.75 6.75 4.80
6.0 4.50 8.10 5.76
7.0 5.25 9.45 6.72
8.0 6.00 10.80 7.68
9.0 6.75 12.15 8.64
10.0 7.50 13.50 9.60

耐化学性/耐食性テスト


Ni-Mo Alloy (C-276, ハステロイ合金) P/N: PHA-035W

テスト項目 試験条件 外観 / 抵抗 結果
前 後
高温 450℃高温オーブンに100HR投入 Ni-Mo alloy high temperature test - before Ni-Mo alloy high temperature test - after 外観: 褐青色に変色
抵抗値: 小幅増加
0.016 Ω 0.047 Ω
フッ化水素酸ガス ガラス瓶にフッ化水素酸20ml投入後24HR露出 Ni-Mo alloy fluoric gas test - before Ni-Mo alloy fluoric gas test - after 外観: 光沢減少、腐食小幅発生
抵抗値: 小幅増加
0.017 Ω 0.040 Ω
塩水 NaCl 5%、温度35℃条件で48HR塩水噴霧 Ni-Mo alloy salt spray test - before Ni-Mo alloy salt spray test - after 外観: 変化なし
抵抗値: 変化なし
0.016 Ω 0.016 Ω


Co-Cr Alloy (R30003, エルジロイ合金) P/N: SCO-035W

テスト項目 試験条件 外観 / 抵抗 結果
前 後
高温 450℃高温オーブンに100HR投入 Co-Cr alloy high temperature test - before Co-Cr alloy high temperature test - after 外観: 青色に変色
抵抗値: ほとんど変化なし
0.009 Ω 0.010 Ω
フッ化水素酸ガス ガラス瓶にフッ化水素酸20ml投入後24HR露出 Co-Cr alloy fluoric gas test - before Co-Cr alloy fluoric gas test - after 外観: 光沢微細減少
抵抗値: 変化なし
0.006 Ω 0.006 Ω
塩水 NaCl 5%、温度35℃条件で48HR塩水噴霧 Co-Cr alloy salt spray test - before Co-Cr alloy salt spray test - after 外観: 変化なし
抵抗値: 変化なし
0.007 Ω 0.007 Ω

シールド性能

SAE ARP 1705C（Coaxial Test Procedure to Measure the RF Shielding Characteristics of EMI Gasket Materials）に基づくShielding Quality（シールド品質）の測定原理および算出方法の概要は以下のとおりです。


Shielding Qualityの測定原理

  • 電磁波がEMIガスケット接合部に到達すると、表面電流密度が発生します。
  • この電流が接合部を通過する際、接合インピーダンスによって電圧（V）が発生し、その電圧により外部へ電磁界が漏洩します。
  • ガスケットは接合部インピーダンスを最小化し、電磁漏洩を抑制します。
  • したがって、ガスケットのシールド性能は「電圧／表面電流密度」で定義される伝達インピーダンス(ZT)に反比例します。

伝達インピーダンスZt算出式
     ZT = V/JS
     ZT = Transfer impedance of seam (Ω-m)
     V = Transfer voltage (voltage across seam)
     JS = Density of current which crosses the seam (A/m)


Shielding Quality算出式

Shielding Quality（SQ）は、自由空間の波動インピーダンス（377 Ω）を基準として、ガスケット接合部の伝達インピーダンスとの比較により算出されます。

  • 定義： Shielding Quality算出式
  • 対数スケール（dB）表示： SQ（dB）算出式

材料別Shielding Qualityグラフ


  • Co-Cr Alloy R30003 [P/N: FCO-035W]
    Co-Cr Alloy R30003 [P/N: FCO-035W] シールド品質グラフ

* Shielding Quality（SQ）は、試料ガスケットの材質、表面処理、圧縮率、および試験治具の接触面（Joint Surface）の材質、表面状態、導電性などの測定条件によって変動する場合があります。

製品支援


P/N 選択方法

* 板材(リボンストリップ)素材、単性、O-Ringなどをオプションで選択可能

オプション コード
ばね特性 S: 標準反力, P: 中反力, F: 低反力
ストリップ材質 HA: Ni-Mo Alloy (C-276, Hastelloy), CO: CoCr Alloy (R30003, Elgiloy)
ストリング外径（Ø） 010~100 (1.0~10.0mm)
芯材（インナーコード） W: Cordless
Oリング内径* xx phi: Oリング内径（mm）

* O-Ring製作: 接合部の精密溶接と耐久性向上のため、スポット溶接適用
    (ストリングの外径サイズによって、Oリングの内径が制限される場合があります。)



P/N 構造

EMI shield spiral gasket part number structure


P/N P/N説明
SHA-050W 標準反力、Ni-Mo Alloy（C-276）、OD 5.0 mm、芯材なし
PCO-035W-80phi 中反力、Co-Cr Alloy（R30003）、OD 3.5 mm、Oリング内径80 mm、芯材なし

参考資料

資料がありません。