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耐食性/耐化学性 RF/EMI 遮蔽スパイラルガスケット

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概要

耐化学性/耐食性スパイラルガスケットは極限の化学的·機械的環境でも安定的な性能を発揮する高性能遮蔽用ガスケットとなります。特に半導体エッチング装備、化学処理装備のように腐食性化学ガスと高温(最大450 °C)条件が同時に要求される産業環境に最適化されています。


本製品は世界的に認められている高級合金で製作されています。

  • Ni-Mo Alloy (C-276 / 一名、ハステロイ/インコネル合金)
    代表的なニッケル基の耐食性合金であり、腐食穴(pitting)、隙間腐食(crevice corrosion)、応力腐食割れ(SCC)に対する優れた抵抗性を誇ります。フッ化水素酸ガス、塩水など高腐食環境でも安定性が維持され、高い強度と耐熱性を基盤に半導体装備、化学プラント、高温・腐食環境で最適なソリューションを提供します。
  • Co-Cr Alloy (R30003 / 一名、エルジロイ合金)
    非磁性コバルト基の超合金であり、優れた疲労強度と耐腐食性を同時に確保しました。有機・無機酸環境のいずれにおいてもステンレスよりも優れた耐食性を発揮し、水素脆性(hydrogen embrittlement)に対して鈍感です。また、–269°Cの極低温から約500°Cの高温まで安定的に耐えられるため、極低温環境装備と高温半導体工程に適しています。

このように、両素材はそれぞれ特長を基に、様々な産業用耐食性ガスケットの要求条件に応じて最適の製品を選択することが出来ます。

主な特徴

  • 強力な耐食性
    フッ化水素酸ガス、塩水、各種酸・アルカリなど腐食性化学環境にも優れた性能維持
  • 優秀な機械的な強度
    高い引張強度・降伏強度で高荷重・反復荷重環境にも変形と疲労破壊抑制
  • 広い温度範囲対応
    極低温(–269°C)から高温(500°C)まで安定的な耐食性と機械的な特性維持
  • 電磁波遮蔽及び電気的な安定性
    低い電気抵抗でEMI遮蔽と信号干渉の最小化
  • 耐久性と信頼性保障
    酸化、ピッティング(pitting)、クリップ(creep)、応力腐食割れ(SCC)など過酷な環境にも長期間安定的に使用可能

製品詳細


形態

    耐食性/耐化学性 RF/EMI 遮蔽スパイラルガスケット


  • 素材: Ni-Mo Alloy (C-276、ハステロイ/インコネル合金)、Co-Cr Alloy (R300003、エルジロイ合金) 選択可能
  • 外径(OD): 0.1mm単位で製作可能(下の製品リストの数字が製品の外径となる)
      例) 010 = 1.0mm, 023 = 2.3mm, 099 = 9.9mm

製品リスト

素材 外径サイズ 標準単性 (S) 中単性 (P) 低単性 (F)
Ni-Mo Alloy
(C-276, ハステロイ合金)		 最小 SHA-010W PHA-010W FHA-023W
最大 SHA-099W PHA-099W FHA-099W
Co-Cr Alloy
(R30003, エルジロイ合金)		 最小 SCO-012W PCO-023W FCO-034W
最大 SCO-099W PCO-099W FCO-099W

* 25%圧縮時製品別単性
   - S: Standard(標準単性) ~13 kgf/in
   - P: Medium(中単性) ~5 kgf/in
   - F: Low(低単性) ~2 kgf/in



板材(ストリップ)化学成分

ストリップ 単位 化学成分
Ni-Mo Alloy (C-276) wt% Ni Bal. / Mo 15.0-17.0 / Cr 14.5-16.5 / Fe 4.0-7.0
Co-Cr Alloy (R30003) wt% Co 39.0-41.0 / Cr 19.0-21.0 / Ni 15.0-16.0 / Fe Bal.


板材(ストリップ)物理的特性

項目 単位 Ni-Mo Alloy (C-276, ハステロイ合金) Co-Cr Alloy (R30003, エルジロイ合金)
密度 g/cm³ 8.9 8.3
単性係数 kN/mm² 205 225
電気抵抗 μΩcm 123 95
電気伝導度 MS/m - 1.1
熱伝導度 W/mK 10.2 12.5
融点 °C 1325-1370 1450-1460


グルーブマウント

スパイラルガスケット溝マウント

  • 推奨グローブサイズ
外径[mm] 推奨グローブサイズ[mm]
Depth WB WT
1.0 0.75 1.35 0.96
2.0 1.50 2.70 1.92
2.2 1.65 2.97 2.11
2.4 1.80 3.24 2.30
2.6 1.95 3.51 2.50
2.8 2.10 3.78 2.69
3.0 2.25 4.05 2.88
3.2 2.40 4.32 3.07
3.4 2.55 4.59 3.26
3.6 2.70 4.86 3.46
3.8 2.85 5.13 3.65
外径[mm] 推奨グローブサイズ[mm]
Depth WB WT
4.0 3.00 5.40 3.84
4.2 3.15 5.67 4.03
4.4 3.30 5.94 4.22
4.6 3.45 6.21 4.42
4.8 3.60 6.48 4.61
5.0 3.75 6.75 4.80
6.0 4.50 8.10 5.76
7.0 5.25 9.45 6.72
8.0 6.00 10.80 7.68
9.0 6.75 12.15 8.64
10.0 7.50 13.50 9.60

耐化学性/耐食性テスト


Ni-Mo Alloy (C-276, ハステロイ合金) P/N: PHA-035W

テスト項目 試験条件 外観 / 抵抗 結果
前 後
高温 450℃高温オーブンに100HR投入 Ni-Mo alloy high temperature test - before Ni-Mo alloy high temperature test - after 外観: 褐青色に変色
抵抗値: 小幅増加
0.016 Ω 0.047 Ω
フッ化水素酸ガス ガラス瓶にフッ化水素酸20ml投入後24HR露出 Ni-Mo alloy fluoric gas test - before Ni-Mo alloy fluoric gas test - after 外観: 光沢減少、腐食小幅発生
抵抗値: 小幅増加
0.017 Ω 0.040 Ω
塩水 NaCl 5%、温度35℃条件で48HR塩水噴霧 Ni-Mo alloy salt spray test - before Ni-Mo alloy salt spray test - after 外観: 変化なし
抵抗値: 変化なし
0.016 Ω 0.016 Ω


Co-Cr Alloy (R30003, エルジロイ合金) P/N: SCO-035W

テスト項目 試験条件 外観 / 抵抗 結果
前 後
高温 450℃高温オーブンに100HR投入 Co-Cr alloy high temperature test - before Co-Cr alloy high temperature test - after 外観: 青色に変色
抵抗値: ほとんど変化なし
0.009 Ω 0.010 Ω
フッ化水素酸ガス ガラス瓶にフッ化水素酸20ml投入後24HR露出 Co-Cr alloy fluoric gas test - before Co-Cr alloy fluoric gas test - after 外観: 光沢微細減少
抵抗値: 変化なし
0.006 Ω 0.006 Ω
塩水 NaCl 5%、温度35℃条件で48HR塩水噴霧 Co-Cr alloy salt spray test - before Co-Cr alloy salt spray test - after 外観: 変化なし
抵抗値: 変化なし
0.007 Ω 0.007 Ω

遮蔽性能

SAE ARP 1705C（EMIガスケット材料のRFシールド特性を測定するための同軸試験手順）規格に基づくShielding Quality（遮蔽率）の測定原理と計算方式を簡単に要約すると以下の通りです。


Shielding Quality 測定原理

  • EMIガスケットが適用された接合部（Seam, Joint）に電磁波が入射すると、表面電流(JS)が発生します。
  • この電流が接合部を通過すると電圧(V)が発生し、この電圧が接合部反対側に漏洩電磁界を発生させます。
  • したがって、ガスケットの性能は電流(JS)に対して発生する電圧(V)の比率で定義され、これを伝送インピーダンス（ZT）と呼びます。

伝送インピーダンス Zt 計算式
     ZT = V/JS
     ZT = 接合部の伝送インピーダンス (Ω-m)
     V = 伝送電圧（接合部両端の電圧）
     JS = 接合部を横切る電流密度 (A/m)


Shielding Quality 計算式

Shielding Quality(SQ)は自由空間の波動インピーダンス（377 Ω）を基準に、ガスケットの伝送インピーダンスと比較して算出されます。

  • 定義: Shielding Quality 計算式
  • ログスケール(dB) 表現: SQ(dB) 計算式

材料別 Shielding Quality グラフ


  • Co-Cr Alloy R30003 [P/N: SCO-035W]
    Co-Cr Alloy R30003 [P/N: SCO-035W] Shielding Quality グラフ

* サンプルガスケットの材質、表面処理、圧縮率の違い、測定機器の接触面（Joint Surface）の材質・表面状態・導電性など、各種測定条件によって遮蔽率(SQ)に差が生じる可能性があります。


製品支援


P/N 選択方法

* 板材(リボンストリップ)素材、単性、O-Ringなどをオプションで選択可能

オプション コード
単性 S: 標準単性, P: 中単性, F: 低単性
板材(ストリップ)材質 HA: Ni-Mo Alloy (C-276, Hastelloy), CO: CoCr Alloy (R30003, Elgiloy)
ストリング外径(Ø) 010~100 (1.0~10.0mm)
芯材(コア) W: Cordless
O-Ring内径* R: O-Ring内部の直径(mm)

* O-Ring製作: 接合部の精密溶接と耐久性向上のため、スポット溶接適用
    (ストリングの外径サイズによって、Oリングの内径が制限される場合があります。)



P/N 構造

EMI shield spiral gasket part number structure


P/N P/N 説明
SHA-050W 標準単性, Ni-Mo Alloy (C-276), OD 5.0mm, 芯材なし
PCO-035W-R080 中単性, Co-Cr Alloy (R30003), OD 3.5mm, O-Ring内径 80mm, 芯材なし

参考資料

資料がありません。